用於偵測 Titan Head membrane內部管路濕度的感測器

CMP 製程中活化研磨墊的修整器，因應客戶需求，目前已研發出第三代 Cylinder type（氣缸式）

清大體育系訂製，用於測量受測者的踝關節靈敏度及踝關節的功能狀態。

CMP 製程中專用於校正下壓力的荷重元精密測量器

DELTA ROBOT 具有較大的工作範圍與高速移動及 高定位精度，可用於生產線上取放作業、組裝、整列與包裝等。

規格
控制軸數：4
最大重量：2KG
重複定位精度：±0.1 MM
機構重量：20KG
運動範圍：
DIAMETER:800MM
HEIGHT:300MM
各軸角度：
-30°~95°
-30°~95°
-30°~95°
0°~360°
各軸最大速度：
1200°/S
1200°/S
1200°/S
1700°/S
安裝方式：吊掛

PARALLEL SCARA ROBOT 擁有類似於 SCARA ROBOT 的運動特性，但具更高的速度及精準度； 適用於高速、大範圍的平面取放。 PARALLEL SCARA ROBOT PERFORMS SIMILAR MOTION CHARACTERISTICS AS SCARA ROBOT BUT WITH HIGHER SPEED AND PRECISION. IT OFFERS A BETTER SOLUTION FOR RAPID PICK-AND-PLACE MOTION IN THE HORIZONTAL PLANE.

測試 Pad Conditioner Head 壓力回授穩定度 （含機台 / PLC / HMI / PC程式控制）

CMP 製程中用於偵測 200mm / 300mm polish head ​是否漏氣的測試機（含機台 / PLC / HMI / PC程式控制）

CMP 製程中的 Mirra 340 系列各式機台改造，因應客戶需求外加機台功能。

CMP製程中適用於EBARA機台的測頭機 (含機構/PLC/HMI/PC程式控制) 具備300mm polish head 正負壓測漏及上機前軟化橡皮薄膜的吹氣功能。